Nor-Cal 797-209034-001 压力控制器该控制器是Nor-Cal Products旗下Intellisys™系列的自适应压力控制器专为半导体制造等精密真空工艺设计可实现精准、快速且可靠的下游压力闭环控制。产品特点10条采用自适应压力控制算法可应对工艺中的突发压力扰动支持模拟量、DeviceNet及Ethernet等多种通信协议精度高达0.2% FS满足精密工艺控制要求可同时接入一到两个压力计信号灵活性高支持PID控制与限位控制等多种输出方式内置全部控制电子元件与软件为独立式单元具备本地开/关切换开关及LED状态指示灯支持RS232串行通信便于远程监控与调试适用于真空镀膜、刻蚀等多种半导体工艺场景符合CE标准及EMC指令通过相关安全认证产品参数5条型号797-209034-001产品系列Intellisys™自适应压力控制器精度0.2% FS额定输入电压24 VDC ±5%额定电流最大2.5A 24VDC平均0.5A 24VDC综上Nor-Cal 797-209034-001 精度高、通信灵活、响应可靠是真空工艺压力控制的优选方案。
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