Well Proximity Effect,简称WPE,中文叫"井邻近效应"。白话一点来说,是靠近井(Well)所造成的效应。
在离子注入过程中,SiO2窗口作为阻挡。理想情况下N well应该是均匀的,可是实际加工过程中,有些…
LOCOS: 鸟嘴,H/W小,不太适合CMP工序 STI: H/W大,便于CMP工序 就是挖沟,填二氧化硅隔离介质{Mos比喻成城池,STI就是护城河} sti_mask-->size (diffusion or (diffusion and poly)) by value P…