
TEL F17-621561-2超声波流量计核心特点如下共15条中间15条东京电子品牌专用超声波流量计组件。用于半导体制造工艺中的液体流量测量与控制。采用超声波传播时间差原理测量精度高。无活动部件无压力损失维护成本低。接液部件采用半导体级PFA材质耐腐蚀性强。理想清洁结构无O形圈等易积液密封件。适用于纯水、超纯水及各类化学药液的流量测量。可测量运动粘度高达40 mm²/s的高粘度流体。测量精度可达示值的±1%以内。具备抗气泡干扰能力提升测量稳定性。体积小巧适合半导体设备紧凑空间安装。支持多种信号输出方式便于系统集成。流量显示直观便于现场监控。符合CE及RoHS等国际标准认证。出厂经严格测试验证性能可靠稳定。结尾总之型号TEL F17-621561-2采用无活动部件设计具备高精度、耐腐蚀、抗气泡干扰等核心优势专用于半导体湿法工艺中的微小流量测量场景是保障制程稳定性的关键流量测控组件。